Первый российский литограф на 350 нм передадут «Маппер» в декабре 2026 года
Материал подготовлен искусственным интеллектом на основе нескольких источников — ссылки на оригиналы приведены ниже.
Первый серийный российский литограф, позволяющий производить чипы по нормам 350 нм, планируется передать компании «Маппер» в декабре 2026 года. Установка разработана Зеленоградским нанотехнологическим центром совместно с белорусской компанией «Планар». Следующий этап — литограф на 130 нм, серийные поставки которого намечены на 2027 год.
Ключевые факты
- Первый серийный российский литограф для чипов 350 нм планируется передать компании «Маппер» в декабре 2026 года.
- Установка разработана Зеленоградским нанотехнологическим центром (ЗНТЦ) совместно с белорусской компанией «Планар».
- Базовая версия стоит 392 млн рублей без НДС, комплектация с расширенным сервисом — 561 млн рублей.
- Литограф обрабатывает до 63 пластин диаметром 150 мм в час или до 43 пластин диаметром 200 мм в час.
- Серийные поставки литографа на 130 нм планируются на 2027 год.
График поставок
Первый серийный российский литограф, позволяющий производить чипы по нормам 350 нм, планируется передать заказчику в декабре 2026 года. По данным источников CNews, первую установку получит компания «Маппер», входящая через холдинг «Швабе» в Ростех. Следующая серийная машина предназначена для компании «Отраслевые решения» группы «Элемент». Срок изготовления одного литографа составляет около 18 месяцев после внесения аванса в размере половины стоимости.
Технические характеристики
Установка получила рабочее поле 22 х 22 мм и поддерживает пластины диаметром до 200 мм. Вместо традиционной ртутной лампы используется твердотельный лазер, что должно обеспечить более высокую мощность и энергоэффективность. Производительность литографа достигает 63 пластин диаметром 150 мм в час. При работе с 200-миллиметровыми пластинами установка способна обрабатывать до 43 пластин в час. Базовая версия машины оценивается в 392 млн рублей без НДС, комплектация с расширенным сервисным обслуживанием и пятилетней гарантией — в 561 млн рублей.
Литограф следующего поколения на 130 нм
Следующим этапом станет серийный отечественный литограф с разрешением 130 нм, также разрабатываемый совместно с компанией «Планар». Опытный образец установки анонсировали в августе 2026 года, стоимость опытно-конструкторских работ оценивается в 5,7 млрд рублей. Начать серийные поставки литографов, позволяющих выпускать 130-нанометровые чипы, планируется уже в 2027 году.
1 источник
Время · отставание